滲透超純水設(shè)備的典型工藝流程如下：

　　1.預(yù)處理反滲透凈化水箱離子交換器紫外燈純水泵水點(diǎn)

　　2.預(yù)處理-一級反滲透-二級反滲透（正電荷反滲透膜）-純化水箱-純水泵-紫外線燈-水點(diǎn)

　　3.預(yù)處理反滲透中間水箱中間水泵EDI裝置純化水箱純水泵紫外燈水點(diǎn)

　　4.預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級反滲透裝置→二級反滲透裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水水箱→TOC紫外線去除裝置→精處理混床→超濾裝置→水點(diǎn)

　　水質(zhì)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)和電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（4級：18mΩ*cm、15mΩ*cm、2mΩ*cm、0.5mΩ*cm）

反滲透設(shè)備具有以下優(yōu)點(diǎn)：

　　1.零件由廠家生產(chǎn)，質(zhì)量可靠。

　　2.集成度高，易于擴(kuò)展，增加膜的數(shù)量可以增加容量。

　　3.自動(dòng)化程度高，故障自動(dòng)停機(jī)，具有自動(dòng)保護(hù)功能。

　　4.脫鹽率大于98%。

　　5.能耗低，運(yùn)行成本低。

　　6.水的利用率高，回收率為50-75%。

　　7.結(jié)構(gòu)合理，占地面積小。

　　8.膜保護(hù)系統(tǒng)可在設(shè)備停機(jī)時(shí)自動(dòng)用脫鹽水沖洗膜表面的污染物，延長膜的使用壽命。

　　9.系統(tǒng)無易損件，無需大量維護(hù)，長期有效運(yùn)行。